妞干网最新,异界刀神,缘定来生不相负云笑薄祁渊,公与儿憩乔静32章

產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SIMCO離子風棒5635M Bar

  • 產(chǎn)品型號：SIMCO5635M Bar
  • 產(chǎn)品廠商：美國SIMCO思美高靜電產(chǎn)品
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
SIMCO離子風棒5635M Bar Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時，靜電針的間距是 5 cm，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。SIMCO離子風棒5635M Bar
詳情介紹：

SIMCO離子風棒5635M Bar  

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準的離子平衡，是設(shè)計用于有嚴格要求的超高潔凈半導體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標表面，這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整，使它達到超越 ISO Class 1 潔凈水平的

“Extended ISO Class 1”潔凈度，適合更微小的先進技術(shù)制程。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境，能加快離子的推送，得到更快的消散時間和有更遠的工作距離。


Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時，靜電針的間距是 5 cm，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。



ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 潔凈度

? 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圓技術(shù)

? 調(diào)制脈沖技術(shù)

? 精準的正負平衡，高離子輸出量，和長期穩(wěn)定

? **的橫向均勻度

? 整根棒的離子平衡都一致

? 低電場電壓

? 可**靠近晶圓或光罩，放置距離可近至 15 cm

? 吹氣輔助功能

? 在快速的自動設(shè)備，能增強消除靜電的能力

? 選配的軟件有易用的介面和寬闊的可調(diào)性 

? 在任何環(huán)境都能快速設(shè)定和容易調(diào)至*佳效能

? 警報輸出信號 

? 能輸出至設(shè)備或遠端監(jiān)控系統(tǒng)


型號 5635 MP 離子棒的設(shè)計是使用在 ISO 14644-1 Class1 潔凈度的環(huán)境 (每立方米少過 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒）。如把輸出功率設(shè)在 45-50% 和使用 OpenJet 風嘴和單晶硅靜電針，它可兼容 ISO 14644-12 潔凈度 (每立方米少過1200 粒 @ ≥0.01 micron 的微粒)。


型號 5601 電源分配盒可作為中央電源和軟件控制，能連接 8 根 5635 MP 離子棒。


Aerobar 5635 MP 離子棒只要連上 24  VDC 電源即可工作，如需要也可接入氣源作吹氣輔助。DIP 開關(guān)可設(shè)定功率輸出，可根據(jù)說明書的建議，設(shè)定需要的消散效能。然后在棒上微調(diào)操作參數(shù)，或透過連接的電腦軟件調(diào)節(jié)，以達到*佳的離子平衡，*小的電壓擺幅，和*快的消散時間。在信號和電源的接線盒上的警報連接能輸出至設(shè)備或中央控制室作遠端設(shè)備監(jiān)控。



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