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SIMCO脈沖離子風(fēng)棒5635 Bar
Simco-Ion Aerobar 5635 MP 離子棒能提供快速靜電消散，低殘余電壓擺幅，和精準(zhǔn)的離子平衡，是設(shè)計(jì)用于有嚴(yán)格要求的超高潔凈半導(dǎo)體或有同類的制程環(huán)境。它采用 MP 技術(shù) - 把高頻正旋周波和調(diào)制脈沖結(jié)合 - 產(chǎn)生高輸出量的離子和把它們推送至目標(biāo)表面，這突破的技術(shù)使 5635MP 離子棒能安裝在晶圓的 15 cm 距離內(nèi)。同時(shí)配合超高潔凈的靜電針和**的參數(shù)調(diào)整，使它達(dá)到超越 ISO Class 1 潔凈水平的
“Extended ISO Class 1”潔凈度，適合更微小的先進(jìn)技術(shù)制程。選配的吹氣輔助功能，在潔凈要求不高的環(huán)境，能加快離子的推送，得到更快的消散時(shí)間和有更遠(yuǎn)的工作距離。
Aerobar 5635 MP 離子棒的 MP 技術(shù)能容易設(shè)置和微調(diào)參數(shù) - 輸出電壓，脈沖頻率，正負(fù)平衡，以符合不同環(huán)境和產(chǎn)品對靜電的敏感要求。在棒長短于 60 cm 時(shí)，靜電針的間距是 5 cm，這樣能給出更濃密和更平均的離子覆蓋。
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ISO 14644-12 (0.01 mm 微粒) 潔凈度 |
? 可兼容包括 14 nm 和以下的所有晶圓技術(shù) |
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? 調(diào)制脈沖技術(shù) |
? 精準(zhǔn)的正負(fù)平衡，高離子輸出量，和長期穩(wěn)定 |
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? **的橫向均勻度 |
? 整根棒的離子平衡都一致 |
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? 低電場電壓 |
? 可**靠近晶圓或光罩，放置距離可近至 15 cm |
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? 吹氣輔助功能 |
? 在快速的自動設(shè)備，能增強(qiáng)消除靜電的能力 |
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? 選配的軟件有易用的介面和寬闊的可調(diào)性 |
? 在任何環(huán)境都能快速設(shè)定和容易調(diào)至*佳效能 |
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? 警報(bào)輸出信號 |
? 能輸出至設(shè)備或遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng) |
型號 5635 MP 離子棒的設(shè)計(jì)是使用在 ISO 14644-1 Class1 潔凈度的環(huán)境 (每立方米少過 10 粒 @ ≥0.1 micron 的微粒）。如把輸出功率設(shè)在 45-50% 和使用 OpenJet 風(fēng)嘴和單晶硅靜電針，它可兼容 ISO 14644-12 潔凈度 (每立方米少過1200 粒 @ ≥0.01
micron 的微粒)。
型號 5601 電源分配盒可作為中央電源和軟件控制，能連接 8 根 5635 MP 離子棒。
Aerobar 5635 MP 離子棒只要連上 24 VDC 電源即可工作，如需要也可接入氣源作吹氣輔助。DIP 開關(guān)可設(shè)定功率輸出，可根據(jù)說明書的建議，設(shè)定需要的消散效能。然后在棒上微調(diào)操作參數(shù)，或透過連接的電腦軟件調(diào)節(jié)，以達(dá)到*佳的離子平衡，*小的電壓擺幅，和*快的消散時(shí)間。在信號和電源的接線盒上的警報(bào)連接能輸出至設(shè)備或中央控制室作遠(yuǎn)端設(shè)備監(jiān)控。
