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SIMCO脈沖直流離子風(fēng)棒5225 Bar
Simco-Ion 的 型號(hào) 5225 離子棒,以數(shù)碼電路設(shè)計(jì)和透過(guò)軟件操控,滿足設(shè)備內(nèi)的防靜電需求。它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標(biāo)準(zhǔn)上*嚴(yán)格的要求。棒身以空氣動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)和高潔凈度材料制造,使得 5225 離子棒在微型潔凈室內(nèi),完全發(fā)揮靜電防控能力,而不干擾室內(nèi)層流氣流。5225 離子棒能結(jié)合設(shè)備系統(tǒng),使用預(yù)編軟件或開(kāi)放的源代碼范例,與設(shè)備接口的無(wú)縫連接,作出低成本的靜電防控方案,減低維護(hù)費(fèi)用,和有更好的警報(bào)功能。系統(tǒng)警報(bào)和信息能交替顯示在設(shè)備控制器上,另有設(shè)備監(jiān)控輸出作其他警報(bào)提醒。
設(shè)備智能的結(jié)合
Simco-Ion 專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)的軟件,更易于集成設(shè)備系統(tǒng),它有三個(gè)部分,可以完全配合需求:
? 文件完整的 API 接口,能減少集成的時(shí)間和費(fèi)用。
? 在 Visual C/C++下的開(kāi)發(fā)源代碼和應(yīng)用參考,可用來(lái)設(shè)計(jì)和結(jié)合系統(tǒng)控制軟件,又或作為一個(gè)應(yīng)用程序在單獨(dú)的電腦運(yùn)作。
? 離子棒的硬件模擬器,可允許在沒(méi)有離子棒的情況下,開(kāi)發(fā)監(jiān)控軟件。
Simco-Ion 強(qiáng)大的軟件系統(tǒng)提供**的離子棒控制,設(shè)置包括:工作模式調(diào)整 (脈沖模式,穩(wěn)態(tài)模式,待機(jī)),信號(hào)同步,電離開(kāi)關(guān)時(shí)間,輸出功率,正負(fù)極的警報(bào)閾值,每根棒都能獨(dú)立設(shè)置。精準(zhǔn)的警報(bào)和維修檢測(cè),也能降低的故障耗時(shí)和診斷工作。
能與設(shè)備控制器完全結(jié) |
? 使用配置的器材 或者 透過(guò) IonMonitor 軟件可以操控它的參數(shù) |
? 每根離子棒的參數(shù)完全可調(diào) |
設(shè)置、運(yùn)作模式和維護(hù)程序 |
? 離子輸出的監(jiān)察 |
? 在設(shè)備的每個(gè)安裝區(qū)域,可以根據(jù)個(gè)別需求,微調(diào)操作參數(shù) |
? 多種長(zhǎng)度選擇,有三款長(zhǎng)度是專(zhuān)為 EFEMs設(shè)計(jì)的 |
? 離子輸出和效能穩(wěn)定更能保持一致 |
? 可以滿足不同的應(yīng)用需求 |
|
? 經(jīng)業(yè)內(nèi)驗(yàn)證的超高潔凈的靜電針材質(zhì),不會(huì)對(duì)晶圓造成污染 |