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SIMCO桌上型離子風(fēng)機(jī)5822i
5822i 離子風(fēng)機(jī)的精巧設(shè)計(jì)是配合優(yōu)異自動(dòng)化制程設(shè)備內(nèi)緊密的空間條件,和嚴(yán)格的靜電防控要求,尤其適用于硬盤制造和半導(dǎo)體后段封測(cè)工業(yè)。 它能維持 <±3 V 的離子平衡,又可接連外置回饋系統(tǒng)以達(dá)至 <±1 V 的 效能。內(nèi)置的離子平衡自動(dòng)修正系統(tǒng),能確保目標(biāo)對(duì)象在精準(zhǔn)控制中,減少維修次數(shù)和降低操作成本。配置的氣流定向器,無(wú)須更多的空間,也能把精準(zhǔn)平衡的離子直接吹到目標(biāo)
● ±3 V 或更好的離子平衡 (配合選配的外接回 |
● 直送吹風(fēng)設(shè)計(jì)能改善離子吹送和靜電控制 |
饋系統(tǒng)能達(dá)至±1 V) |
● 對(duì)產(chǎn)品錯(cuò)誤能作出快速反應(yīng) |
● 設(shè)備監(jiān)控接口和聲響報(bào)警 |
● 允許更彈性的安裝位置,又能維持效能 |
● 外置控制盒 |
● 適合在高要求的微污染控制環(huán)境使用 |
● 符合潔凈度 ISO 14644-1 Class 4 |
|
5822i 離子風(fēng)機(jī)的選配外接感應(yīng)器,可接連Novx Process Monitor 7000 系列,Novx 被動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng) 3350 系列,
和 Novx 主動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng) 3360 系列,作出檢測(cè)和自動(dòng)調(diào)整離子平衡。把天線放到目標(biāo)位置,信號(hào)會(huì)回饋到 5822i 的
控制線路,以達(dá)至和維持離子平衡在±1 V 或更好的效能。