Laser Hologage（激光全息測(cè)微計(jì)）

542系列- 0.00001mm分辨率型

日本三豐品牌  MITUTOYO 542-926  線性測(cè)微計(jì)

三豐的Laser Hologage 是一種優(yōu)異數(shù)顯測(cè)量系統(tǒng)，采用衍射光束干涉，進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測(cè)量。它具有超細(xì)衍射光柵，將全息影像記錄在刻度上。Laser Hologage 適于測(cè)量精度極高的工件，特別適于半導(dǎo)體等行業(yè)使用。

特點(diǎn)：

1、由于具有0.00001mm（0.01μm）的極高分辨率適于進(jìn)行高精度測(cè)量，其性能接近激光干涉儀。

2、具有極高的測(cè)量穩(wěn)定性—高防護(hù)性設(shè)計(jì)，適于在惡劣的環(huán)境下工作，如溫度和氣壓變化的環(huán)境。

3、心軸導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承，移動(dòng)非常濾波且延長(zhǎng)了使用壽命。

4、帶有顯示裝置。

技術(shù)參數(shù)：

精度：參見(jiàn)性能參數(shù)（不包括量化偏差）

分辨率：0.01μm

長(zhǎng)度基準(zhǔn)：Laser-hologram 測(cè)量傳感器

*大反應(yīng)速度：250mm/s

測(cè)針：R5mm硬質(zhì)合金          

軸套：Φ15mm

軸承類型：高精度線性滾珠軸承

測(cè)力：參見(jiàn)性能參數(shù)

輸出信號(hào)：90度相位差，差動(dòng)方形波

信號(hào)間距：0.25μm

標(biāo)準(zhǔn)附件：

538610：帶扳手的測(cè)頭

選件：

971751：用于在上表面固定的軸套固定裝置

971752：用于在下表面固定的軸套固定裝置

971753：心軸提升電纜

971750：Laser Hologage支架

性能參數(shù)：

*為區(qū)分交流電源電纜，在貨號(hào)后加上以下后綴：A適于UL/CSA,D適于CEE,DC適于CCC,E適于BS,K適于EK，無(wú)后綴適于JIS/100V。

**量具的方向：心軸向下/水平/向上

尺寸圖片：單位（mm）