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SIMCO離子風棒
Simco-Ion
的
型號 5225 離子棒,以數(shù)碼電路設計和透過軟件操控,滿足設備內(nèi)的防靜電需求。它提供高離子輸出量,能快速中和晶圓上的靜電,符合 E78 標準上*嚴格的要求。棒身以空氣動力學設計和高潔凈度材料制造,使得 5225 離子棒在微型潔凈室內(nèi),完全發(fā)揮靜電防控能力,而不干擾室內(nèi)層流氣流。
5225 離子棒能結(jié)合設備系統(tǒng),使用預編軟件或開放的源代碼范例,與設備接口的無縫連接,作出低成本的靜電防控方案,減低維護費用,和有更好的警報功能。系統(tǒng)警報和信息能交替顯示在設備控制器上,另有設備監(jiān)控輸出作其他警報提醒。
設備智能的結(jié)合
Simco-Ion 專門開發(fā)的軟件,更易于集成設備系統(tǒng),它有三個部分,可以完全配合需求:
? 文件完整的 API 接口,能減少集成的時間和費用。
? 在 Visual C/C++下的開發(fā)源代碼和應用參考,可用來設計和結(jié)合系統(tǒng)控制軟件,又或作為一個應用程序在單獨的電腦運作。
? 離子棒的硬件模擬器,可允許在沒有離子棒的情況下,開發(fā)監(jiān)控軟件。
Simco-Ion 強大的軟件系統(tǒng)提供**的離子棒控制,設置包括:工作模式調(diào)整 (脈沖模式,穩(wěn)態(tài)模式,待機),信號同步,電離開關時間,輸出功率,正負極的警報閾值,每根棒都能獨立設置。精準的警報和維修檢測,也能降低的故障耗時和診斷工作。
能與設備控制器完全結(jié) |
? 使用配置的器材 或者 透過 IonMonitor 軟件可以操控它的參數(shù) |
? 每根離子棒的參數(shù)完全可調(diào) |
設置、運作模式和維護程序 |
? 離子輸出的監(jiān)察 |
? 在設備的每個安裝區(qū)域,可以根據(jù)個別需求,微調(diào)操作參數(shù) |
? 多種長度選擇,有三款長度是專為 EFEMs設計的 |
? 離子輸出和效能穩(wěn)定更能保持一致 |
? 可以滿足不同的應用需求 |
|
? 經(jīng)業(yè)內(nèi)驗證的超高潔凈的靜電針材質(zhì),不會對晶圓造成污染 |