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AT211A/AT211B光柵尺
539系列-細(xì)長(zhǎng)型/高速度型
日本三豐品牌 MITUTOYO AT211B 光柵尺
特點(diǎn):
1、高精度,高分辨率封裝型光柵尺,是半導(dǎo)體加工系統(tǒng)和CNC機(jī)床在定位時(shí)進(jìn)行反饋控制的理想工具。
2、兩種型號(hào)可供選擇:AT211A多點(diǎn)安裝型,增強(qiáng)了防震性能。AT211B可安裝在機(jī)床兩端。AT211B的尺寸與AT111細(xì)長(zhǎng)型相同。
技術(shù)參數(shù):
有效測(cè)量范圍: 100-1500mm
精度(20℃時(shí)):
有效測(cè)量范圍 標(biāo)準(zhǔn)型 高精度型
100到500mm (3+3L/1000)μm (2+2L/1000)μm
500到1500mm (3+3L/1000)μm ——
L=有效測(cè)量范圍(mm)
輸出波形:兩路90度相移正交信號(hào)
信號(hào)輸出間距:20μm
*大響應(yīng)速度:5.4-120m/min
分辨率:0.5,0.1,0.2,1,2.5,5μm
塵/水防護(hù)等級(jí):IP53